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潔凈室工程通俗稱為無塵車間、凈化車間、潔凈室等名稱;其主要原理是將一定空間范圍內(nèi)空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動、照明、靜電控制在所需求范圍內(nèi)。主要是對潔凈度、溫度、濕度的控制,提升作業(yè)環(huán)境,提高產(chǎn)品良率。
無塵車間按用途分類: 空氣潔凈室:已經(jīng)建造完成并可以投入使用的潔凈室(設(shè)施)。它具備所有有關(guān)的服務(wù)和功能。但是,在設(shè)施內(nèi)沒有操作人員操作的設(shè)備。 靜態(tài)潔凈室:各種功能完備、設(shè)定安裝妥當(dāng),可以按照設(shè)定使用或正在使用的潔凈室(設(shè)施),但是設(shè)施內(nèi)沒有操作人員。 動態(tài)潔凈室:處于正常使用的潔凈室,服務(wù)功能完善,有設(shè)備和人員;如果需要,可從事正常的工作。
實驗室凈化工程的發(fā)展與現(xiàn)代工業(yè)、尖端技術(shù)密切聯(lián)系在一起。由于精密機械工業(yè)(如陀螺儀、微型軸承等加工)、半導(dǎo)體工業(yè)(如大規(guī)模集成電路生產(chǎn))等對環(huán)境的要求,促進(jìn)了潔凈室技術(shù)的發(fā)展。國內(nèi)曾統(tǒng)計過,在無潔凈級別的要求的環(huán)境下生產(chǎn)MOS電路管芯的合格率僅10%~15%,64為儲存器僅2%。目前在精密機械、半導(dǎo)體、宇航、原子能等工業(yè)中應(yīng)用潔凈室已相當(dāng)普遍。