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潔凈室工程行業(yè)企業(yè),從客戶需求動(dòng)身,從設(shè)計(jì)理念、建造施工、設(shè)備配備及運(yùn)轉(zhuǎn)等各個(gè)方面中止節(jié)能設(shè)計(jì),只需采取全方位的節(jié)能技術(shù),整個(gè)潔凈室行業(yè)才干持續(xù)、良性展開(kāi)??諝夥肿游廴続MC作為C工廠關(guān)心的問(wèn)題于20年前由日本人提出,近年來(lái),世界Ic卡技術(shù)展開(kāi)疾速,IC芯片日益微型化,目前曾經(jīng)有嬴徑為04in的世界較小的非接觸型無(wú)線射頻識(shí)別芯片。
潔凈室工程是我國(guó)的耗能大戶之。據(jù)不完好統(tǒng)計(jì),潔凈室的能耗是普通寫(xiě)字樓的10~30倍。我國(guó)的8英寸芯片廠,潔凈室單位面積能耗比美國(guó)同類型工「高15%(美國(guó)耗能1.28kw/m2~2.63kW/m2而中國(guó)耗能148Wm2-193/m2).以上海某知名芯片廠為例,其全年耗電量的51%是用于潔凈室運(yùn)轉(zhuǎn)及相關(guān)的維護(hù),假設(shè)將這51%的能耗合理降低,對(duì)企業(yè)來(lái)說(shuō)就意味著利潤(rùn)的增長(zhǎng),因此,潔凈室下游相關(guān)行業(yè)企業(yè)越來(lái)越注重潔凈室的節(jié)能問(wèn)題。
AMC對(duì)當(dāng)前的消費(fèi)其潛在的污染」比粒子污染要普遍多,粒子污染控制只需求肯定粒徑及個(gè)數(shù),但對(duì)AMC控制而言,除了受芯片線寬的減少而變化外并受工藝、工藝設(shè)備、工藝材料及傳送系統(tǒng)等的影響更有甚者用于某一工序的各種工藝材料(化學(xué)品、符種氣體等)在很多情況下,量的分子剩余對(duì)下一工序常??赡芫褪俏廴疚?。因此,IC消費(fèi)過(guò)程中的某些加工工序及工序問(wèn)的材料傳送和存放環(huán)境中,AMC已成為嚴(yán)重影響廢品率的重要問(wèn)題,AMC分子控制技術(shù)成為潔凈室設(shè)計(jì)與施工樹(shù)立的主流趨向。目前,國(guó)內(nèi)的潔凈室工程行業(yè)企業(yè)中曾經(jīng)開(kāi)端從事此方向的研討。