潔凈室工程能源消耗分析

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潔凈室工程能源消耗分析

2020-08-20

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“據(jù)不完全統(tǒng)計，潔凈室工程的能耗是一般寫字樓的10倍-30倍。我國的8英寸集成電路芯片制造廠，其潔凈室單位面積能耗達到1.48千瓦/平方米～1.93千瓦/平方米，比美國同類型工廠高15%?！鄙虾Ｊ惺覂?nèi)環(huán)境凈化協(xié)會秘書長王芳告訴《中國電子報》記者，“以上海某知名芯片廠為例，其全年耗電量的51%用于潔凈室運行維護。如果能將這51%的能耗合理降低，對企業(yè)來說就意味著利潤的增長。”

在我國，潔凈廠房的能源消耗是相當大的。能源消耗主要用于生產(chǎn)設備用電和用熱、凈化空調(diào)系統(tǒng)的耗電/耗熱和冷負荷、冷凍機組的耗電、排氣裝置的耗電和耗熱、超純水和氣體的制取和輸送以及公用設施和照明的用電等。為達到潔凈室要求的空氣潔凈度等級，潔凈室的循環(huán)風量很大。一般空調(diào)房間的每小時換氣次數(shù)只需要幾次，而潔凈室每小時換氣次數(shù)達到10次～600次。由于技術(shù)的原因，我國的潔凈室在能耗方面又高于歐美發(fā)達國家。

潔凈室的建造費用也十分驚人?！峨娮庸I(yè)潔凈廠房設計規(guī)范》主要起草人之一秦學禮在接受《中國電子報》記者采訪時表示，ISO6級(相當于美國標準FS2091000級)潔凈室單位面積建造成本約為3000元/平方米～4000元/平方米，而ISO4級(相當于美國標準FS20910級)潔凈室單位面積建造成本則高達1萬元/平方米。

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