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硅晶片潔凈室工程的解決方案

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硅晶片潔凈室工程的解決方案

2020-12-09

從大的方面來講,光伏新能源硅晶片生產(chǎn)包括硅單晶棒生產(chǎn)和光伏新能源硅晶片生產(chǎn)兩大部分,細(xì)分為以下幾道主要工序:單晶棒生長-單晶棒裁切和檢測(cè)-外徑磨削-切片-倒角(圓邊)-研磨/研磨片檢查-蝕刻(化學(xué)蝕刻、LP-CVD+AP-CVD 等工藝)-PTA熱處理-背面損傷處理-拋光(ML粗拋、ML精拋)-洗凈-品質(zhì)檢查-潔凈包裝從單晶棒生長到外徑磨削為硅單晶棒生產(chǎn)工序,切片以后的流程為光伏新能源硅晶片生產(chǎn)工序。


潔凈室工程空調(diào)凈化的設(shè)計(jì)是與工藝的布局、生產(chǎn)的流程密切結(jié)合的。不同類型、不同用途的廠房空調(diào)凈化系統(tǒng)都各有特點(diǎn),切片室、倒角室、研磨片室僅有溫度控制要求,設(shè)風(fēng)冷熱泵分體柜式空調(diào)機(jī)(PAC)來保證房間溫度要求,室內(nèi)機(jī)就近放置在車間內(nèi),接風(fēng)管,采用雙層百葉風(fēng)口側(cè)送風(fēng)方式;室外機(jī)放置在屋面上。切片室的排風(fēng)量較大,新風(fēng)采用直接蒸發(fā)式熱泵型屋頂空調(diào)機(jī)S1-1和S1-2來補(bǔ)充。車間有防塵要求,風(fēng)冷熱泵分體柜式空調(diào)機(jī)回風(fēng)口處設(shè)中效過濾器(大氣塵計(jì)數(shù)效率:≥60%,對(duì)于≥1μm 粒子),同樣屋頂式空調(diào)機(jī)需設(shè)兩級(jí)過濾器。


在接入每個(gè)風(fēng)量及正壓控制循環(huán)機(jī)組(AHU)的新風(fēng)管上均設(shè)置電動(dòng)調(diào)節(jié)閥,由各潔凈室的正壓值來調(diào)節(jié)電動(dòng)調(diào)節(jié)閥的開度,使?jié)崈羰业恼龎褐挡浑S生產(chǎn)設(shè)備的排風(fēng)量的變化而變化,電動(dòng)調(diào)節(jié)閥的開度變化引起總送風(fēng)管上的靜壓變化,根據(jù)其設(shè)定值調(diào)節(jié)AHU-1、2的風(fēng)機(jī)頻率,以達(dá)到控制目的。

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